專家信息：

張海霞——微電子學專家，女，1970年出生。現任北京大學微電子學研究院教授、博士生導師，MEMS研究所副所長，微納應用技術國際大賽iCAN發起人。

 教育及工作經歷： 

1998年畢業于華中科技大學獲得博士學位，之后加入清華大學做博士后研究。 

2001年加盟北京大學微電子學研究院。 

2004年至2006年在美國加州大學戴維斯分校與凱斯西儲大學任訪問教授。 

 社會兼職： 

1、中國微米納米技術學會副秘書長。 

2、全球華人微納米分子系統學會秘書長。 

3、全球華人微米納米技術合作網絡CINN執行主席。

 科學研究：

 研究方向：

 1、MEMS設計技術與工具開發；

 2、SiC MEMS技術；

 3、生物 MEMS技術；

 4、納米電子機械系統NEMS。

  承擔的科研項目情況：

 主持多項國家973、863等重要科研項目。

 1、國家自然科學基金項目“DRIE工藝及其復雜現象的機理與建模研究”。

 2、科技部863項目“適用于植入式系統的無線能量和信號傳輸系統”和“ICP加工模型模擬與IP庫”。

 3、973項目“納機電結構加工工藝的評價與表征方法研究”。

 4、預研項目“特種MEMS薄膜生長技術及應用—碳化硅”。

 5、北京市自然科學基金項目“SiC材料制備工藝技術，結構特性及在MEMS中應用”。

  科研成果：

2006年獲得國家技術發明二等獎。

論文專著：

在 JMM、Sensors & Actuators: A. Physical、MEMS03等國內外學術期刊和著名國際會議上發表學術論文50余篇，參與編寫教材一本。

 出版專著：

1、《微納傳感器及其應用》 北京大學出版社 2010

 發表論文： 

1 SiC薄膜制備MEMS結構 王煜; 郭輝; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學微電子研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微電子研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室 【會議】中國微米、納米技術第七屆學術會年會論文集（二） 2005-08-01

2 PECVD SiC薄膜的應力控制及抗腐蝕特性研究 郭輝; 王煜; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學; 北京大學 【會議】中國微米、納米技術第七屆學術會年會論文集（一） 2005-08-01

3 不同犧牲層材料上LPCVD氮化硅薄膜內應力的測試與研究 王莎莎; 陳兢; 張海霞 北京大學微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微米/納米加工技術國家重點實驗室 【會議】中國微米、納米技術第七屆學術會年會論文集（一） 2005-08-01

4 開啟微納傳感領域的新天地——Transducers 2011國際會議綜述 孫旭明; 朱福運; 唐偉; 張曉升; 袁泉; 張海霞 北京大學微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】信息與電子工程 2011-08-25

5 茶多酚對胰島素分泌和胰島內鈣離子濃度的影響 王進; 沈劍敏; 黃華宇; 張海霞 蘭州大學化學化工學院; 北京大學天然藥物及仿生藥物國家重點實驗室 【期刊】蘭州大學學報(醫學版) 2010-12-20

6 硅DRIE刻蝕工藝模擬研究 朱福運; 于民; 金玉豐; 張海霞 北京大學微電子學研究院微米/納米國家重點實驗室 【期刊】中國電子科學研究院學報 2011-02-20

7 微納米分子系統研究領域的最新進展——IEEE NEMS 2011國際會議綜述 孫旭明; 張海霞 北京大學微米/納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】信息與電子工程 2011-04-25

8 物聯網中的高科技創新 張海霞 北京大學微電子研究院 【期刊】物聯網技術 2011-04-20

9 可調諧微機電電感(英文) 方東明; 張海霞 北京大學微電子學研究院微米納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】微納電子技術 2010-03-15

10 基于彎曲測試的納米結構機械力學特性的表征 徐臨燕; 栗大超; 胡小唐; 張海霞; 黃玉波 天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室; 北京大學微米納米加工技術國家重點實驗室; 天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室 天津; 北京大學微米納米加工技術國家重點實驗室 【期刊】傳感技術學報 2006-05-30

11 金屬和SiC復合薄膜的應力及應力梯度控制技術 紀明; 陳哲; 田大宇; 王瑋; 張國炳; 張海霞 北京大學微電子學研究所微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微電子學研究所微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微電子學研究所微米/納米加工技術國家重點實驗室 北京 【期刊】納米技術與精密工程 2008-01-15

12 適用于RF MEMS能量耦合傳輸的高Q值電感 陳石清; 李旦; 李修函; 張海霞 北京大學微電子學研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 北京大學微電子學研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室; 北京大學微電子學研究院微米/納米加工技術國家級重點實驗室 北京; 北京交通大學電子信息工程學院 【期刊】傳感技術學報 2008-04-15

13 微加工干法刻蝕工藝模擬工具的研究現狀 周榮春; 張海霞; 郝一龍 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院 MEMS研究所; MEMS研究所 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

14 弓型懸臂梁微靜電諧振器力學建模 趙江銘; 沈雪瑾; 張海霞; 陳曉陽 上海大學機電工程與自動化學院; 北京大學微電子所; 上海大學機電工程與自動化學院 上海 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

15 MEMS CAD系統IMEE的研究和開發 張海霞; 郭輝; 肖志勇; 周榮春; 郝一龍 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院 北京 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

16 用于MEMS器件芯片級封裝的金-硅鍵合技術研究 劉雪松; 閆桂珍; 郝一龍; 張海霞 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院 北京 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

17 納米壓痕和劃痕法測定氧化硅薄膜材料的力學特性 張海霞; 張泰華; 郇勇 北京大學微電子研究院; 中國科學院力學研究所非線性力學國家重點實驗室; 中國科學院力學研究所非線性力學國家重點實驗室 北京 【期刊】微納電子技術 2003-08-25

18 SiC薄膜制備MEMS結構 王煜; 郭輝; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學微電子研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微電子研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室; 北京大學微電子研究院微米/納米加工技術國家重點實驗室 北京 【期刊】中國機械工程 2005-07-30

19 以工藝為主線的MEMS設計工具IMEE 郝一龍 ; 張海霞 ; 郭輝 ; 肖志勇 ; 周榮春 北京大學微電子研究院; 北京大學微電子研究院 【期刊】今日電子 2003-06-10

20 加速度系統的結點化模型仿真 肖志勇; 楊振川; 張海霞; 郝一龍 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院; 北京大學微電子學研究院 北京 【期刊】北京大學學報(自然科學版) 2004-05-20

21 集成化MEMS工藝設計技術的研究 張海霞; 郭輝; 張大成; 徐嘉佳; 郝一龍 北京大學微電子研究院; 北京大學微電子研究院; 北京大學微電子研究院 北京 【期刊】納米技術與精密工程 2004-09-30

 榮譽獎勵：

1、2004年北京大學優秀班主任三等獎。

 2、2007年北京大學優秀青年教師教學獎。